VERITAS-300plus 低真空打样品仓分析型扫描电子显微镜

VERITAS-300plus 低真空打样品仓分析型扫描电子显微镜

添加时间:2016-11-28 13:33:00

简介

    驰奔-E系列钨灯丝扫描电镜产品线,包含CUBE、GENESIS、VERITAS三种规格,采用统一的优良电子光学技术,具有相同的分辨率性能和图像质量,涵盖市场用户各种配置需求。电子枪均可升级为亮度提高10倍的更高级的电子枪,实现纳米尺度形貌快速表征。样品台均采用先进优中心结构,方便样品台倾斜/复位, 微区多角度分析不再是难题

    

主要特点

中型样品仓、优化真空腔体空间,满足不宜切割大块样品成像分析需要,包括EDSWDSEBSDCLRaman.
可同时SeBse探测器成像,可进行低真空Bse成像,直接观察非导体 优中心样品台, X Y轴行程 120mm,最大承重3kg保持移动灵活精确  
样品台可承载和SEM联用的微型材料试验机,微探针、纳米镊子等微观操作台,冷冻传输台,容易支持更多SEM拓展应用.
可升级六硼化镧电子枪, 无需长期保持真空运转,高速真空系统,随时开关机。   操作分析灵活高效率,使用维护简便很经济,无需独立地线,可移动


适用范围】:

     扫描电镜广泛应用于冶金、机械、陶瓷、化工、半导体、电子器件、纺织、生物学等行业领域,适用于科学研究,工业产品失效分析,产品可靠性控制。先进的电子光学性能,满足客户从几倍到几十万倍的快速观察分析,不但具有强大的图像处理分析功能,还能广泛连接各种标准或者非标准探测器,拓展成为可靠的分析型电镜,实现用户对材料的全方位微观分析。    

     Veritas-300plus适合大批量样品快速分析测试,需要多种分析附件原位分析,大块样品测试。


安装示意


【性能指标】

型号

Veritas-300plus低真空大型分析电镜

样品台

五轴优中心,计算导航,五轴全自动控制

X: 120mm 

Y: 120mm

Z: 5-65mm

R: 360°无限

T: -20°~90°

电子枪

预对中钨灯丝 三极自动偏压

加速电压

200V-30KV (最大发射电流190μA @ 30KV/最大电子枪功率:5.7W)

探测器

ET-SED,Solid State Bse detector

物镜光阑

20μm  20μm  50μm 100μm  四位可变光阑

分辨率

4nm @30KV ( SEI)

放大倍数

10-300,000 X

样品室

内部尺寸 230(W)x210(D)x260(H)mm ,SeBseEDSWDSEBSDCL等探测器接口

最大样品尺寸

Φ210mm X 65mm

工作距离

0-65mm 

扫描光栅运动

电位移 ±50μm, 电旋转 0-360°

扫描模式

聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可变

TV模式:800x 600像素 

慢扫描模式,用于TV及聚焦模式。

照相模式:800X600960X7201024x7681600x1200、最大3200x2400像素

动态聚焦,倾斜补偿

图像格式

JPGTIFFbmpPNG

真空模式

高真空优于9x10-3Pa

低真空  10-230pa

真空系统

全自动真空系统,真空高压连锁安全保护(高真空时间小于3分钟)

-涡轮分子泵      
-旋片式机械真空泵    
-电动阀门系统:真空闸板阀、电磁阀等    

自动功能

亮度/对比度, 聚焦,   电子枪对中、偏压、饱和,物镜光阑摇摆对中,动态聚焦

软件系统

基于Win8Virtuoso1.1专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。100%鼠标键盘操作。

主机尺寸/重量

800(Wx825Dx 1500Hmm /200kg

电源

单相交流 220V 50Hz1KW

耗材附件

预对中灯丝,样品托,碳导电胶带,导电银胶,专用工具

可选配置

四象限BSED | 样品室摄像机 | 升级LaB6/CeB6阴极 | 3D重构成像软件 | 拉曼光谱 | EDS能谱仪 | WDS波谱仪 | EBSD 电子背散射衍射 | CL 阴极荧光 |电子束曝光装置

     

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