Genesis-II型(510plus)分析型扫描电镜

Genesis-II型(510plus)分析型扫描电镜

添加时间:2017-09-10 17:37:00

驰奔-电镜工匠【Electron Microscope Craftsman】
     第二代钨丝枪系列扫描电镜

      Genesis-II型(510plus) 专业分析型扫描电镜
    全数字化,专业级扫描电镜。GenesisII型在I型框架结构内,采用立方结构样品室,拓展为中型样品仓,具有更大的分析空间,
    全内置五轴优中心自动样品台,更好满足电子显微拓展分析需要。510plus增加BSE探测器和低真空功能。


技术特征:

  • 全数字专业入门级扫描电镜 ; 

  • 主机电器一体化,占地小便于移动  ;

  • 中型样品仓,接配专业EDS、WDS、EBSD、CL等,分析附件探测器更协调工作 ; 

  • 优中心样品,五轴马达驱动,计算机导航 ;

  • 二次电子(SE)、背散射电子(BSE),双探测器成像。

 


*精密五轴自动样品台
*优中心样品台
*多工位,更大,更多样品装载,更高效率工作
 


完全内置样品台,无真空贯穿活动密封,高可靠。


适用范围:

       扫描电镜广泛应用于冶金、机械、陶瓷、化工、半导体、电子器件、纺织、生物学等行业领域,材料微区结构形貌成分表征,
             适用于科学研究,工业产品失效分析,产品可靠性控制。强大拓展能力,实现更精准的电子显微分析。
          


安装示意图


 


性能指标:


型号

Genesis-510plus  全自动专业入门级扫描电镜

样品台

五轴优中心,全自动

X:90mm | Y: 60mm | Z: 5-60mm |  R:360°无限 | T:-20°~90°

电子枪

预对中钨灯丝 三极自动偏压

加速电压

200V-30KV (最大发射电流190μA @ 30KV/最大电子枪功率:5.7W)

探测器

ET-SED

                             四分割半导体背散射电子探测器

物镜光阑

20μm  20μm  50μm 100μm  四位可变光阑

分辨率

4nm @30KV ( SE Image)
5nm @30KV (BSE Image)

放大倍数

10-300,000 X

样品室

Se、Bse、EDS、WDS、EBSD、CL等探测器接口

最大样品尺寸

Φ150mm X60mm

工作距离

0-60mm

扫描光栅运动

电位移 ±50μm, 电旋转 0-360°

扫描模式

聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可变

TV模式:800x 600像素 

慢扫描模式,用于TV及聚焦模式。

照相模式:800X600、960X720、1024x768、1600x1200、最大3200x2400像素

图像格式

JPG、TIFF、bmp、PNG

高级扫描模式
动态聚焦,倾斜补偿,点、线扫描
真空模式

高真空优于9x10-3Pa

低真空模式10-230pa

真空系统

全自动真空系统,真空高压连锁安全保护(高真空时间小于3分钟)

-涡轮分子泵       
-旋片式机械真空泵    
-电动阀门系统:真空闸板阀、电磁阀等    

自动功能

亮度/对比度, 聚焦,   电子枪对中、偏压、饱和,物镜光阑摇摆对中,

自动照相,自动大图拼接缝合

软件系统

基于Win8,Virtuoso1.1专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。100%鼠标键盘操作。

主机尺寸/重量

600(W)x623(D)x 1350(H)mm /130kg

电源

单相交流 220V 、50Hz、1KW

耗材附件

预对中灯丝,样品托,碳导电胶带,导电银胶,专用工具

可选配置

3D重构成像软件 | CCD摄像头 | 拉曼光谱 | EDS能谱仪 | WDS波谱仪 | EBSD 电子背散射衍射 | CL 阴极荧光 |电子束曝光装置  (第三方)



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