台式电镜能谱一体机(CUBE-X扫描电镜)

台式电镜能谱一体机(CUBE-X扫描电镜)

添加时间:2018-08-15 16:28:00

Cube-X是驰奔仪器第二代钨丝枪系列扫描电镜 之桌面台式扫描电镜

Cube-X台式扫描电镜能谱一体机,是全数字化控制,专业电子显微成像分析仪器,配置有三级电磁透镜,大变焦范围,长工作距离,多孔径光阑,轻松获得材料表面高分辨、大景深、高质量的微观形貌导航图,拓展简易EDS,能够对微米亚微米范围元素组成进行快速鉴定,即使未经专业培训,也能够得心应手。在工作条件固定模式下,Cube-X也是一款高效率的成像检测设备。


硬件特征:

  • 全数字控制,专业级电子显微成像仪器;

  • 标配SE探测器,选配BSE探测器 ;

  • 可选样品仓低真空环境功能,直接测试非导电样品;

  • 可选内置一体化简单易用EDS;

  • XYZ三轴大行程自动样品台,可选RT轴自动控制(降低Z轴行程);

  • 多重弹簧橡胶隔振减振系统;

  • 主机设计紧凑,系统高度集成,良好散热及电磁兼容性能;

  • 轻质合金外壳,数字加工成型,具有良好电磁屏蔽功能。



多工位马达驱动样品台  X Y Z行程:45/45/50mm  手动倾斜旋转样品

高档轻质合金外壳,数字加工成型,具有良好电磁屏蔽功能。


 

拓展:简单易用X-ray能谱(EDS)

       能够快速获得微米亚微米范围感兴趣区化学元素成分信息,用户无需了解高级能谱技术知识,按照厂商预设程序,简单培训即可工作,配置尽可能简单快速。


特点: 

自动定性定量; 自动谱峰能量校准;

自动选择通道宽度及时间常数; 采集电镜图像,可同时采集谱图像,可叠加元素伪彩;

元素面分布和线扫描,多基于谱图像的分析提取;

探测晶体面积10~30mm²,但最大输出10万Cps左右;

无需液氮制冷



软件特征:

  • 用户友好:包含多用户环境、一键成像、自动调节、灯丝寿命记录、远程诊断控制;

  • 特殊样品:动态聚焦(DF)、倾斜补偿;

  • 高效拍照:自动照相(Auto Imaging); 大图拼接:连续视野照片缝合; 

  • 信号探测:支持SE、BSE、STEM同时;

  • 鼠标键盘操作,简易快捷。









安装尺寸图:

性能指标:

型号

Cube-X  台式电镜能谱一体机

样品台

XYZ三轴自动,RT手动
-X: 45mm            (自动)

-Y: 45mm            (自动)
-Z: 5-50mm         (自动) -R: 360°无限         (手动)
-T: ±90°               (手动)

电子枪

预对中钨灯丝,三极自动偏压,偏压与加速电压关联

加速电压

200V-30KV ,数字化高压电源,连续可调

探测器

E-T型  SE detector, 四分割半导体固体BSE detector(选购)

物镜光阑

四孔位可变光阑,20~100μm

分辨率

5nm @30KV  SE Image

8nm@30KV   BSE Image

放大倍数

20x-300,000 x

样品室

Se、Bse、EDS探测器接口, 4个其他接口

最大样品尺寸

Φ90mm  x 45mm(H)

工作距离

0-48mm

扫描光栅运动

电位移 ±50μm, 电旋转 0-360°

视频显示模式

聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可变

TV模式:800x 600像素 

慢扫描模式:用于TV及聚焦模式。

照相模式:800X600、960X720、1024x768、1600x1200、最大3200x2400像素

高级扫描

动态聚焦,倾斜补偿

图像格式

JPG、TIFF、bmp、PNG

真空系统

全自动真空系统,真空高压连锁安全保护

-涡轮分子泵    

-旋片式机械真空泵

-电动阀门系统:真空闸板阀、电磁阀等

-高真空优于7.5x10-3Pa  (从大气到达高真空小于3分钟)

-低真空模式 10-230Pa  (选配)

自动功能

亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和,物镜光阑摇摆对中,自动照相存储

软件系统

基于Win10,Virtuoso专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。100%鼠标键盘操作。

主机尺寸/重量

410(W)x440(D)x 520(H)mm /65kg

电源

单相交流 220V 、50Hz、1KW

耗材附件

预对中灯丝,样品托,碳导电胶带,专用工具

EDS能谱仪           All-in-one mode   OXFORD/BRUKER/EDAX


拓展:简易X-ray能谱(EDS)

       主要针对感兴趣区进行元素定性和半定量,能够快速获得结果,能够较为快速的进行元素面分布采集。

       用户无需了解高级能谱技术知识,按照厂商预设程序,简单培训即可工作,配置尽可能简单快速。

特点: 自动定性定量; 自动谱峰能量校准;

自动选择通道宽度及时间常数; 采集电镜图像,可同时采集谱图像,可叠加元素伪彩;

元素面分布和线扫描,多基于谱图像的分析提取;

探测晶体面积10~30mm²,但最大输出10万Cps左右;

无需液氮制冷


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