Genesis-510plus全自动分析型扫描电镜

Genesis-510plus全自动分析型扫描电镜

添加时间:2017-09-10 17:37:00

GENESIS扫描电镜,结构轻巧,标准配置五轴优中心样品台,样品室可同时接配二次电子(SE)、背散射电子(BSE)、X射线能谱(EDS)等探测器或附件,可拓展波谱仪(WDS)、电子背散射衍射(EBSD)、阴极荧光(CL)附件。是一款小巧、功能强大的电子显微分析平台。

    GENESIS-510plus采用五轴有中心样品台,更大的行程,更高效果。计算机导航马达驱动,样品位置坐标存储后,可自动复位。标准配置二次电子探测器和背散射电子探测器,同时观察形貌像和成分像,配合低真空模式,绝缘样品可免喷金观察,是一款外观时尚的紧凑型、多功能、高性能扫描电镜。
          

主要特点】:


 ● 传统经典结构,紧凑设计,功能强大,非常高的性价比

 ● 高分辨成像能力,满足纳米尺度快速形貌表征

 ● 高精度样品台行程可媲美任何中型扫描电镜

 ● 生物样品、绝缘样品可直接观察,免喷金

 ● 体型小巧,节约空间,可随时移动。

 ● 同时接配EDS、WDS、EBSD,分析空间理想

 ● 优中心样品台、可轻易实现立体对图像采集,重构3D形貌像。


适用范围】:

     扫描电镜广泛应用于冶金、机械、陶瓷、化工、半导体、电子器件、纺织、生物学等行业领域,适用于科学研究,工业产品失效分析,产品可靠性控制。先进的电子光学性能,满足客户从几倍到几十万倍的快速观察分析,不但具有强大的图像处理分析功能,还能广泛连接各种标准或者非标准探测器,拓展成为可靠的分析型电镜,实现用户对材料的全方位微观分析。

Genesis-510plus适合大批量样品快速分析测试,适合多种分析附件原位分析,适合不导电样品直接观察分析,避免喷镀导电膜层造成信号遮蔽或样品损失。


性能指标

型号

Genesis-510plus全自动扫描电镜

样品台

五轴优中心,全自动

X:90mm | Y: 60mm | Z: 5-60mm |  R:360°无限 | T:-20°~90°

电子枪

预对中钨灯丝 三极自动偏压

加速电压

200V-30KV (最大发射电流190μA @ 30KV/最大电子枪功率:5.7W)

探测器

ET-SED

                             四分割半导体背散射电子探测器

物镜光阑

20μm  20μm  50μm 100μm  四位可变光阑

分辨率

4nm @30KV ( SE Image)
5nm @30KV (BSE Image)

放大倍数

10-300,000 X

样品室

SeBseEDSWDSEBSDCL等探测器接口

最大样品尺寸

Φ150mm X60mm

工作距离

0-60mm

扫描光栅运动

电位移 ±50μm, 电旋转 0-360°

扫描模式

聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可变

TV模式:800x 600像素 

慢扫描模式,用于TV及聚焦模式。

照相模式:800X600960X7201024x7681600x1200、最大3200x2400像素

图像格式

JPGTIFFbmpPNG

高级扫描模式
动态聚焦,倾斜补偿,点、线扫描
真空模式

高真空优于9x10-3Pa

低真空模式10-230pa

真空系统

全自动真空系统,真空高压连锁安全保护(高真空时间小于3分钟)

-涡轮分子泵       
-旋片式机械真空泵    
-电动阀门系统:真空闸板阀、电磁阀等    

自动功能

亮度/对比度, 聚焦,   电子枪对中、偏压、饱和,物镜光阑摇摆对中

软件系统

基于Win8Virtuoso1.1专用控制软件内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。100%鼠标键盘操作。

主机尺寸/重量

600(Wx623Dx 1350Hmm /130kg

电源

单相交流 220V 50Hz1KW

耗材附件

预对中灯丝,样品托,碳导电胶带,导电银胶,专用工具

可选配置

四象限BSED | 样品室摄像机 升级LaB6/CeB6阴极 3D重构成像软件 拉曼光谱 | EDS能谱仪 | WDS波谱仪 | EBSD 电子背散射衍射 | CL 阴极荧光 |电子束曝光装置



本网站由阿里云提供云计算及安全服务 Powered by CloudDream